Blanco de GBT19001 Grey Tube Targets Magnetron Sputtering

Titanio Gr2 ASTM B861-06 de la blanco del tubo del titanio la vacuometalización del material de blanco

El material de blanco de capa es una fuente de la farfulla que puede formar las diversas películas funcionales en el substrato por la galjanoplastia del ion del multi-arco de la farfulla del magnetrón u otros tipos de sistema de capa bajo condiciones tecnológicas apropiadas. En fin, la blanco es el material de blanco que bombardea por las partículas cargadas de alta velocidad. Cuando están utilizadas en armas de laser de alta energía, las diversas densidades de poder, formas de onda de la salida y longitudes de onda de lasers obran recíprocamente con diversas blancos, diversa matanza y los efectos de la destrucción serán producidos. Por ejemplo, la capa de la farfulla del magnetrón de la evaporación está calentando la capa de la evaporación, la película de aluminio, el etc. que diversos materiales de blanco (tales como aluminio, cobre, acero inoxidable, titanio, blancos del níquel, etc.) se pueden substituir para obtener diversos sistemas de la película (tales como película dura, desgaste-resistente, anticorrosión estupenda de la aleación, etc.)

1) Principio de la farfulla del magnetrón:
Un campo magnético ortogonal y el campo eléctrico se añaden entre la blanco farfullada (cátodo) y el ánodo, y el gas inerte requerido (generalmente gas de AR) se completa la cámara de alto vacío. El imán permanente forma un campo magnético gausiano 250-350 en la superficie del material de blanco, que forma un campo electromagnético ortogonal con el campo eléctrico de alto voltaje. Bajo acción del campo eléctrico, la ionización de gas de AR en los iones positivos y los electrones, blanco y tiene cierta presión negativa, de la acción de la blanco del extremadamente afectado al lado del campo magnético y del aumento de la probabilidad de trabajo de la ionización de gas, forman un plasma de alta densidad cerca del cátodo, de ión argon bajo acción de la fuerza de Lorentz, velocidad para arriba para volar a la superficie de la blanco, bombardeando la superficie de la blanco en una velocidad, los átomos farfullados en la blanco siguen el principio de conversión del ímpetu y volar lejos de la superficie de la blanco con una energía cinética más alta al substrato y acumular en la película. El magnetrón que farfulla se divide generalmente en dos clases: La farfulla y la radiofrecuencia que farfullan, que de DC el principio del equipo de la farfulla de la C.C. es simple, en metal de la farfulla, su tarifa es rápidas. El uso del rf que farfulla es más extenso, además de farfullar los materiales conductores, puede también farfullar los materiales no-conductores, pero también puede ser óxido reactivo de la farfulla, nitruro y carburo y otros materiales compuestos. Si la frecuencia de la radiofrecuencia se convierte en plasma de la microonda que farfulla, hoy, la farfulla de uso general del plasma de la microonda de la resonancia de ciclotrón del electrón (ECR).
2) tipo de blanco de la farfulla del magnetrón:
Material de blanco de la farfulla del metal, material de revestimiento de la farfulla de la aleación de la capa, material de revestimiento de cerámica de la farfulla, materiales de blanco de cerámica de la farfulla del boruro, material de blanco de cerámica de la farfulla del carburo, material de blanco de cerámica de la farfulla del fluoruro, materiales de blanco de cerámica de la farfulla del nitruro, blanco de cerámica del óxido, material de blanco de cerámica de la farfulla del selénido, materiales de blanco de cerámica de la farfulla del siliciuro, material de blanco de cerámica de la farfulla del sulfuro, material de blanco de cerámica de la farfulla del telururo, otras blancos de cerámica, blanco de cerámica Chrome-dopada del óxido de silicio (CR-SiO), blanco del fosfato del indio (INP), blanco del arseniuro de la ventaja (PbAs), blanco del arseniuro del indio (InAs).

Ventajas principales
Alta fuerza de la especificación de la baja densidad
Arreglo para requisitos particulares de encargo de la petición
Resistencia a la corrosión excelente
Buena resistencia térmica
Funcionamiento excelente de la baja temperatura
Buenas propiedades termales
Módulo de elástico bajo